原裝panasonic晶圓定位傳感器操作模式
使用環(huán)境溫度 0～+40℃(注意不可結(jié)露)，存儲(chǔ)時(shí)：-20～+55℃
投光元件 紅色LED(投光波峰波長：650nm)
使用環(huán)境照明度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度3,000lx以下
耐電壓 AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間
緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表
耐振動(dòng) 頻率10～150Hz　雙振幅0.75mm　X,Y和Z方向各2小時(shí)
耐沖擊 加速度490m/s2(約50G)　X,Y和Z方向各3次
受光元件 光電二極管
材質(zhì) 本體外殼：PEI、前罩部：玻璃、安裝基座：鋁
電纜 耐熱PVC電纜0.5m末端帶連接器
低消耗電流70mA以下
檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實(shí)現(xiàn)光電傳感器同等的低功耗。
高分辨率30μm
雖然使用紅色LED作為光源，但仍然具有激光傳感器同樣的高，因此可實(shí)現(xiàn)高精度檢測。
無需光軸調(diào)整
投、受光部體型，無需繁瑣的光軸調(diào)整。并且，檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區(qū)域，可對(duì)應(yīng)各種不同尺寸的晶圓。
配備系數(shù)和偏移量調(diào)整功能
模擬輸出(1～5V)除了系數(shù)調(diào)整功能之外，還具備方便的偏移調(diào)整功能，可在±0.5V的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)換模擬電壓。
使用環(huán)境濕度 35～85%RH、存儲(chǔ)時(shí)：35～85%RH

使用安全的紅色LED作為光源，無需任何繁雜的安全措施。無需使用激光時(shí)*的保護(hù)罩，在美國使用時(shí)不需要符合FDA標(biāo)準(zhǔn)。
使用ONE SHOT連接器將檢測頭與控制器連接。配線工時(shí)降zui低限度，維護(hù)輕松。

原裝panasonic晶圓定位傳感器操作模式

安裝方式：